片式電感疊片機的疊片精度控制技術.pdf

電子工藝技術
236 Electronics Process Technology 2021年7月 第42卷第4期

片式電感疊片機的疊片精度控制技術
劉肖斌，馬良
（中國電子科技集團公司第二研究所，山西）
摘　要：LTCCHT、、氧傳感器、陶瓷基座、晶
振等領域均有廣泛的應用。疊片精度的高低影響著層與層之間線路的互聯和導通，是片式電感一體成型的關
鍵。目前疊片工藝中主要使用國外廠商的生產設備，國內還沒有非常成熟的工藝設備。旨在通過對多層陶瓷疊
片工藝的了解，探究國內疊片工藝設備的發展方向。
關鍵詞：片式電感；疊片；疊片精度；視覺對位
中圖分類號：TN605文獻標識碼：Ａ　文章編號：1001-3474202104-0236-04
Precision Control Technology of Chip Inductor Laminating Machine
LIU Xiaobin, MA Liang
( The 2nd Research Institute of CETC, Taiyuan 030024, China )
Abstract: Laminating machine is the key equipment in the production of chip inductor, and it is widely
used in LTCC, HTCC, MLCC, oxygen sensor, ceramic base, crystal vibration and other ? elds. The precision
of lamination affects the interconnection and conduction of the lines between layers and is the key to
the integrated molding of chip inductors. At present, the lamination process mainly uses the production